半導体・シリコン用赤外線放射温度計 IR-CAT
半導体用

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IR-CAシリーズは、本体にデジタル温度表示、パラメータ設定機能、測定値外部出力を装備した一体形で据置タイプの放射温度計です。
低温用、中高温用、高機能形、超ワイド形などの汎用形に用途別を加えた17機種で、さまざまな分野の非接触温度計測に対応します。

半導体・シリコンウェハ温度測定

400℃～1200℃のシリコンウェハの温度が測定可能な放射温度計。ウェハが不透明となる測定波長を採用し背面のヒータによる指示影響を低減

その他特長

  • デジタル温度表示、パラメータ設定機能を内蔵し、本体で操作ができる一体構造
  • 高精度、高速応答、高信頼性
  • 通信インターフェイス・RS-485（MODBUS）をオプションにて用意
  • IR-CA の遠隔監視、遠隔設定のリモート用に設定表示器を用意。
    RS-485 通信により設定・表示ができる
  • データ収録ソフトを用意
  • 設置環境にあわせて、保護ケース、水冷板などのアクセサリを用意

仕様

機種 半導体・シリコン用
形式 IR-CAT
検出素子 Si
測定波長 0.6～0.96μm
測定温度範囲 400～800℃（100）
500～1000℃（200）
600～1200℃（200）
精度定格 200℃未満：±2℃
200℃以上：測定値の±1％
再現性 0.5℃以内
分解能 0.5℃
応答時間 0.04s（95％）
測定径/測定距離 可動焦点
測定距離：0.5m～∞
測定径＝測定距離/距離係数
距離係数：100，200
照準 直視ファインダ
出力信号 4～20ｍA DC, アイソレート出力（不可抵抗500Ω以下）
通信インターフェイス RS-485（オプション）
電源 24V DC
消費電力 最大 10VA
外形寸法 W150xH110xD66mm
質量 約1.3kg
その他 データ処理ソフト：IR-VXC1

資料ダウンロード

カタログ

仕様書

  • IR-CA シリーズ・用途別 放射温度計（フィルム用、炉内物体用、半導体用）
    ファイルサイズ1MB
    資料No.
    PP-97-3
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  • IR-CAシリーズ用 アクセサリ、設定表示器
    ファイルサイズ2MB
    資料No.
    PP-98-3
    ダウンロード

CADデータ

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  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（ファインダあり、端子接続）
    ファイルサイズ1MB
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  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（ファインダなし、端子接続）
    ファイルサイズ1MB
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  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（ファインダあり、コネクタ接続）
    ファイルサイズ1MB
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  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（ファインダなし、コネクタ接続）
    ファイルサイズ1MB
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  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（接写レンズ付き、ファインダあり、端子接続）
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（接写レンズ付き、ファインダなし、端子接続）
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（接写レンズ付き、ファインダあり、コネクタ接続）
    ファイルサイズ1MB
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  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU（接写レンズ付き、ファインダなし、コネクタ接続）
    ファイルサイズ1MB
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  • 設定表示器 IR-GZA
    ファイルサイズ1MB
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取扱説明書

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  • IR-CA［通信］（通信プロトコル：PriV 仕様専用）
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MCA0872-PP2
    ダウンロード
  • 単色形放射温度計 IR-CA［ソフト編］
    ファイルサイズ2MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MCA0272-P11
    ダウンロード
  • 単色・可動焦点形放射温度計 IR-CA［ハード編］
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MCA0274-P14CE
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZ01 販売終了
    ファイルサイズ2MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0357-P9
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZ11, IR-GZ21 販売終了
    ファイルサイズ3MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0358-P8
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZA
    ファイルサイズ2MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0411-P4
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZA［通信］
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0920-P0
    ダウンロード

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用途例

関連情報

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