光干渉式膜厚計 IRMS8599B

IRMS8599Bは測定対象の薄膜に投光し、表面反射光と裏面反射光による干渉から膜厚を測定します。
半導体・液晶パネル・太陽電池・LEDパネル・塗工などの製造プロセスに適しています。
USB通信を搭載しています。

1μm以下の極薄膜をリアルタイム測定

  • 連続分光方式でFFT解析、CF(カーブフィッテング)解析が可能
  • 最大4層を同時計測
  • 使用温度0~50℃、IP65(防塵防滴構造)

その他の特長

USB接続仕様です

仕様

IRMS8599B

名称 光干渉式膜厚計
形式 IRMS8599B
測定方法 可視近赤外連続分光方式
測定範囲 20nm~50μm
測定波長域 0.4~1.0μm
測定距離/径 10~80mm/φ20mm(平行光鏡筒)
18mm/φ2mm(収束光鏡筒)
測定間隔 10~10000ms
光源 タングステンランプ
ファイバ 二分岐バンドルファイバ
通信 USB 1.1 ※ケーブル長:最長5m
表示 PC演算表示
使用温度範囲 0~50℃
電源 24V DC (電源ユニットIR-WEPより供給。電源ユニット:100~240V AC、47~450Hz対応)
消費電力 最大60VA
質量 約5.6 kg
取付方法 ボルト吊り下げ方式(M8ボルト4本)
ケース アルミ鋳物
保護構造 防塵防滴構造(IP65)

※ファイバ、ケーブル、アクセサリ関係は別売りです。

用途例

関連情報

動画

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