IRMS8599Sは測定対象の薄膜に投光し、表面反射光と裏面反射光による干渉から膜厚を測定します。
半導体・液晶パネル・太陽電池・LEDパネル・塗工などの製造プロセスに適しています。
IRMS8599SはRS-485通信・アナログ出力機能を搭載しています。
IRMS8599SはRS-485通信・アナログ出力機能搭載しています。
| 名称 | 光干渉式膜厚計 |
|---|---|
| 形式 | IRMS8599S |
| 測定方法 | 可視近赤外連続分光方式 |
| 測定範囲 | 20nm～100μm |
| 測定波長域 | 0.4～1.0μm |
| 測定距離／径 | 10～80mm／φ20mm（平行光鏡筒） 18mm／φ2mm（収束光鏡筒） 80mm／φ5mm（収束光鏡筒） |
| 測定間隔 | 10～10000ms |
| 光源 | タングステンランプ |
| ファイバ | 二分岐バンドルファイバ |
| 通信インターフェイス | RS-485 |
| アナログ出力信号 | 4～20mA DC（負荷抵抗500Ω以下） |
| 電源 | 24V DC |
| 消費電力 | 最大150VA |
| 質量 | 約3.5kg |
| 保護構造 | 防塵防滴構造（IP65） |
