半導体・ガリウム・ヒ素用赤外線放射温度計 IR-CAU
半導体用

IR-CAシリーズは、本体にデジタル温度表示、パラメータ設定機能、測定値外部出力を装備した一体形で据置タイプの放射温度計です。
低温用、中高温用、高機能形、超ワイド形などの汎用形に用途別を加えた17機種で、さまざまな分野の非接触温度計測に対応します。

半導体・ガリウムヒ素ウェハ温度測定

400℃~1000℃のガリウムヒ素ウェハの温度が測定可能な放射温度計。ウェハが不透明となる測定波長を採用し背面のヒータによる指示影響を低減。

その他特長

  • デジタル温度表示、パラメータ設定機能を内蔵し、本体で操作ができる一体構造
  • 高精度、高速応答、高信頼性
  • 通信インターフェイス・RS-485(MODBUS)をオプションにて用意
  • IR-CA の遠隔監視、遠隔設定のリモート用に設定表示器を用意。
    RS-485 通信により設定・表示ができる
  • データ収録ソフトを用意
  • 設置環境にあわせて、保護ケース、水冷板などのアクセサリを用意

仕様

機種 半導体・ガリウム・ヒ素用
形式 IR-CAU
検出素子 Si
測定波長 0.6~0.9μm
測定温度範囲 400~800℃(100)
500~1000℃(200)
精度定格 600℃未満:±3℃
600℃以上:測定値の±0.5%
再現性 0.5℃以内
分解能 0.5℃
応答時間 0.04s(95%)
測定径/測定距離 可動焦点
測定距離:0.5m~∞
測定径=測定距離/距離係数
距離係数:100,200
照準 直視ファインダ
出力信号 4~20mA DC, アイソレート出力(不可抵抗500Ω以下)
通信インターフェイス RS-485(オプション)
電源 24V DC
消費電力 最大 10VA
外形寸法 W150xH110xD66mm
質量 約1.3kg
その他 データ処理ソフト:IR-VXC1

資料ダウンロード

カタログ

仕様書

  • IR-CA シリーズ・用途別 放射温度計(フィルム用、炉内物体用、半導体用)
    ファイルサイズ1MB
    資料No.
    PP-97-3
  • IR-CAシリーズ用 アクセサリ、設定表示器
    ファイルサイズ2MB
    資料No.
    PP-98-3
  • English) IR-CA 赤外線放射温度計
    ファイルサイズ1MB
    資料No.
    PSE-469

CADデータ

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  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(ファインダあり、端子接続)
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(ファインダなし、端子接続)
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(ファインダあり、コネクタ接続)
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(ファインダなし、コネクタ接続)
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(接写レンズ付き、ファインダあり、端子接続)
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(接写レンズ付き、ファインダなし、端子接続)
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(接写レンズ付き、ファインダあり、コネクタ接続)
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード
  • IR-CAR/IR-CAT/IR-CAU(接写レンズ付き、ファインダなし、コネクタ接続)
    ファイルサイズ1MB
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  • 設定表示器 IR-GZA
    ファイルサイズ1MB
    ダウンロード

取扱説明書

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  • IR-CA[通信](通信プロトコル:PriV 仕様専用)
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MCA0872-PP2
    ダウンロード
  • 単色形放射温度計 IR-CA[ソフト編]
    ファイルサイズ2MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MCA0272-P11
    ダウンロード
  • 単色・可動焦点形放射温度計 IR-CA[ハード編]
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MCA0274-P14CE
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZ01 販売終了
    ファイルサイズ2MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0357-P9
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZ11, IR-GZ21 販売終了
    ファイルサイズ3MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0358-P8
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZA
    ファイルサイズ2MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0411-P4
    ダウンロード
  • 放射温度計設定表示器 IR-GZA[通信]
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MGZ0920-P0
    ダウンロード
  • English)IR-CA Communications(Options)
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAU,IR-CAT
    資料No.
    RX-MECA0463-0P0
    ダウンロード
  • English)IR-CAB, IR-CAE, IR-CAG,IR-CAI, IR-CAM, IR-CAN,IR-CAP, IR-CAR, IR-CAS,IR-CAT, IR-CAU, IR-CAW Single color radiation thermometer [Software volume]
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MECA0453-P5
    ダウンロード
  • English)IR-CAE, IR-CAG, IR-CAI,IR-CAP, IR-CAR, IR-CAS,IR-CAT, IR-CAU Single color radiation thermometer focusable type [Hardware volume]
    ファイルサイズ1MB
    形式
    IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU
    資料No.
    RX-MECA0455-P9CE
    ダウンロード
  • English)IR-GZ01 Exclusive use setting display unit 販売終了
    ファイルサイズ2MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MEGZ0512-P9
    ダウンロード
  • English)IR-GZ11,IR-GZ21 Setting display unit with remote emissivity setting /reflection correction 販売終了
    ファイルサイズ3MB
    形式
    IR-CAB,IR-CAM,IR-CAN,IR-CAR,IR-CAT,IR-CAU,IR-CZH,IR-CZI,IR-CZK,IR-CZP,IR-CZQ,IR-CZS,IR-SAB,IR-SAH,IR-SAI,IR-SAS
    資料No.
    RX-MEGZ0513-P8
    ダウンロード

ソフトウェアダウンロード

用途例

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